這是一款組合真空計(jì)，結(jié)合了測(cè)量大氣壓 ~ 中真空的皮拉尼真空計(jì)和測(cè)量高真空 ~ 超高真空的冷陰極真空計(jì)。 單個(gè)裝置可以測(cè)量較大的壓力區(qū)域。

一個(gè)單元扮演兩個(gè)角色，有助于降低系統(tǒng)成本并減輕管理負(fù)擔(dān)。

1.出色的測(cè)量穩(wěn)定性、皮拉尼和冷陰極之間的切換**、由于未放電而導(dǎo)致測(cè)量停止以及壓力顯示值顫動(dòng)

2.實(shí)現(xiàn)出色的大氣壓檢測(cè)

?配備該儀器的皮拉尼真空計(jì)在接近大氣壓時(shí)具有很高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性，響應(yīng)與隔膜真空計(jì)相同。

3.維護(hù)簡(jiǎn)單，冷陰極維護(hù)僅用于零件更換

兼容

從超高真空 ~ 大氣壓（例如，電子和光學(xué)）的各種真空測(cè)量：氣相沉積、鍍膜、電子束掩模拉制、濺射、離子注入、MBE

分析：電子顯微鏡、SIMS、AES、

XPS 和其他表面/氣體/質(zhì)譜各種

行業(yè)：退火、熔煉、焊接、回流焊、固化、電子束焊接、冶金、分子蒸餾、氣體填充

、高能物理：加速器、回旋加速器

類型名稱冷陰極皮拉尼真空計(jì)

M-361CP-SP

帶設(shè)定點(diǎn)M-361CP-RS

RS485 型

壓力測(cè)量范圍1×10-7 ~ 1×105 （Pa）

輸入電壓直流+15 ~ 30 伏

功耗2.4 瓦

模擬輸出0 ~ 10 伏 －

設(shè)定值2 觸點(diǎn)輸出（30 VDC，1 A）

接口－ RS485 接口

輸入/輸出連接器D-sub9 引腳

*大電纜長(zhǎng)度300 米（1 毫米2）*1

工作溫度范圍5 ~ 55 °C

儲(chǔ)存溫度范圍-20 ~ 70 °C （非工作狀態(tài)）

傳感器型號(hào)名稱CP2

傳感器材料 （主要部件）燈絲：W，電極：Mo，絕緣石：Al2O2，外殼：SUS304

尺寸 （mm）50 （W） × 50 （D） × 110 （L） （接頭 NW25 規(guī)格）

法蘭形狀NW25、NW40、φ70ICF

通信CE 標(biāo)志、RoHS、IP40

*1） 連接 M-601/603GC 顯示單元時(shí)，測(cè)量?jī)x電纜的*大長(zhǎng)度為 100 m。

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2025/1/4