用于紫外激光或YAG激光的半反射鏡。
備有從真空紫外到紅外的眾多波長(zhǎng)的系列產(chǎn)品。
?正面有多層電介質(zhì)膜，反面有防反射膜，幾乎沒(méi)有光量的損失。
?有不使光束產(chǎn)生變形的平行平面型，和因反面反射產(chǎn)生鬼影或干涉的影響很少的楔型兩種。
?由于是平板型半反射鏡，透過(guò)基板時(shí)產(chǎn)生的波長(zhǎng)分散或色差很小，重量也可以減輕。
信息
?承接制造產(chǎn)品目錄之外的尺寸或波長(zhǎng)，分束比的光學(xué)零件。請(qǐng)利用客戶(hù)問(wèn)詢(xún)單。
WEB參照/カタログコードW3802
?也另行備有超寬帶，寬帶，立方體型半反射鏡。
?要求保證反射波面精度或透過(guò)波面精度時(shí)，請(qǐng)聯(lián)系我們。
?楔型半反射鏡最厚的地方，指向入射表面印有箭頭符號(hào)。
?「波長(zhǎng)特性數(shù)據(jù)」（僅供參考，EXCEL檔案格式）請(qǐng)參考【這里】。
注意
?使用激光等的直線(xiàn)偏光時(shí)，反射率或透過(guò)率隨偏光方向變化。如果要調(diào)整分束比為1：1時(shí)，請(qǐng)45°傾斜偏光方向或使用圓偏光。
?由于基板的折射率和厚度的作用，透過(guò)光的光路相對(duì)于入射光會(huì)平行移動(dòng)數(shù)mm。（楔型半反射鏡在平行移動(dòng)的同時(shí)光束大約偏角30分）
?用于45°之外的入射角時(shí)，透過(guò)率波長(zhǎng)特性將產(chǎn)生變化。
?不能辨別反射鍍膜面位置時(shí)，請(qǐng)使用基板側(cè)面的箭頭符號(hào)確認(rèn)。
?入射光的相位差在透過(guò)光，反射光中不能保持不變。請(qǐng)利用波長(zhǎng)板補(bǔ)償相位差。
?技術(shù)指標(biāo)的反射率，透過(guò)率是用P偏光和S偏光的平均值來(lái)表示的。技術(shù)指標(biāo)
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材質(zhì)
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CaF2
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基板面型精度
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光學(xué)拋光
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鍍膜
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正面 多層電介質(zhì)膜
反面 防反射膜
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入射角度
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45°
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分束比(反射：透過(guò))
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1:1
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表面質(zhì)量
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40-20
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有效直徑
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外徑的90%
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適用波長(zhǎng)
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157nm
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外徑 φD
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φ50mm
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厚度 t
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5mm
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平行度
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＜3′
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透過(guò)率(P偏光和S偏光的平均值)
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R=40±10％
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激光損傷閾值
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0.5J/cm2
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